A530 氦质谱检漏仪
技术规格书
1. 概述
本仪器是以氦气作为示漏气体专门用于真空检漏的质谱分析仪器，广泛用于半导体、制冷、汽车、
电力系统以及其它相关行业，具有响应速度快、灵敏度高、易使用、少维护的特点。
1.1. 技术参数
最小可检漏率（负压法） | 5×10-13Pa·m3/s |
最小可检漏率（正压法） | 5×10-9Pa·m3/s |
漏率显示范围 | 1×10-1～1×10-13Pa·m3/s |
粗检 进气口压强 中检 精检 | 1500Pa 200Pa 40Pa |
启动时间 | <2min |
响应时间 | <0.5s |
粗抽泵抽速 | 30 m3/h |
重量 | 110Kg |
尺寸（长*宽*高 mm） | 780*410*1000 |
1.2. 仪器气路工作原理图
系统说明 |
质谱系统 | 质谱系统是有离子源、放大器和质谱管组成 |
分子泵 | 给质谱系统提供高真空环境，以便质谱系统可靠工作 |
前级泵 | 分子泵提供初级工作真空，以及小工件检漏抽空 |
VG | 电磁阀，粗检阀 |
VF | 电磁阀，中检阀 |
VU | 电磁阀，精检阀 |
VP | 电磁阀，预抽阀 |
VV | 电磁阀，放气阀 |
VC | 电磁阀，定标阀 |
P2 | 真空计，测量分子泵排气口压力 |
P1 | 真空计，测量检漏口压力 |
标准漏孔 | 校正仪器 |
检漏口 | 连接工件或吸枪 |
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