A200 氦质谱检漏仪
技术规格书
1. 概述
本仪器是以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱检漏仪器，广泛用于科研、真空、制冷、汽车、电力、
以及其它相关行业，具有响应速度快、灵敏度高、易使用、少维护的特点。
1.1. 技术参数
最小可检漏率（负压法）
5×10-13Pa·m3/s
最小可检漏率（正压法）
5×10-9Pa·m3/s
漏率显示范围
1×10-1～1×10-13Pa·m3/s
粗检 1500pa
进气口压强 中检 200pa
精检 40pa
启动时间
<2min
响应时间
<0.5s
粗抽泵抽速
1.8 m3/h
重量
45Kg
尺寸（长*宽*高 mm）
510*510*360
1.2. 仪器气路工作原理图
系统说明
质谱系统
质谱系统是有离子源、放大器和质谱管组成
分子泵
给质谱系统提供高真空环境，以便质谱系统可靠工作
前级泵
分子泵提供初级工作真空，以及小工件检漏抽空
VG
电磁阀，粗检阀
VF
电磁阀，中检阀
VU
电磁阀，精检阀
VP
电磁阀，预抽阀
VV
电磁阀，放气阀
VC
电磁阀，定标阀
P2
真空计，测量分子泵排气口压力
P1
真空计，测量检漏口压力
标准漏孔
校正仪器
检漏口
连接工件或吸枪
设备主要性能
质谱管
磁场 180 度偏转型质量分析计
检测气体
氦气
离子源
氧化钇涂层铱金属灯丝：2 根
德国进口分子泵
机械泵
1.8m3/h
KF25
测试方法
负压法,正压法（需选购吸枪）
起动时间
<2 分钟
使用温度范围
10℃~40℃
使用湿度范围
15%～80%（不得结露）
输入电源
AC 220V 10A 50Hz/60Hz
最大功耗
1000W
45KG
控制输入输出
系统开始/停止、机器故障、漏率报警设定点×4 、真空度 X2 等
模拟量输出 （记录仪）
泄漏率，测试口压力：DC0-5V
串行接口
RS232C X2 ，RS485
设备校准
外部标准漏孔校准
调零
有手动调零功能
有自动调零功能（可以开/关）
桌面式检测平台1
桌面式检测平台
机柜式检测平台1
机柜式检测平台
LS4000
LS3000-1
LS2000
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